Распыление твердых тел ионной бомбардировкой :  Физическое распыление одноэлементных твердых тел / 
 Sputtering by Particle Bombardment 
[Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.] ; Под ред. Р. Бериша. 
 - Москва :  Мир ,  1984. 
 - 336 с. :  ил. ;  22 см. 
 - Проблемы прикладной физики .
<br/><br/> \Авт. указаны в огл.  Перевод изд.: Sputtering by particle bombardment. 1 / With contributions by H. H. Andersen, H. Z. Bay, R. Behrisch et. al. (Berlin etc., 1981) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Взаимодействие с поверхностью твердых тел<br/>Действие ионизирующих излучений<br/>Ионы<br/>Твердые тела