TY  - BOOK
AU  - Кузнецов,Федор Андреевич
ED  - Ин-т неорганической химии СО АН СССР
TI  - Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок: Сборник научных трудов 
PY  - 1988///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Полупроводники - Кристаллы - Рост
KW  - Полупроводниковые пленки - Получение
ER  -