Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок : Сборник научных трудов /
Отв. ред. Ф.А. Кузнецов ; АН СССР. СО. Ин-т неорганической химии.
- Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние , 1988.
- 198 с.
3.40
Полупроводники - Кристаллы - Рост Полупроводниковые пленки - Получение