Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок :  Сборник научных трудов / 
Отв. ред. Ф.А. Кузнецов ; АН СССР. СО. Ин-т неорганической химии. 
 - Новосибирск :  Наука. Сиб. отд-ние ,  1988. 
 - 198 с. 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 3.40 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники - Кристаллы - Рост<br/>Полупроводниковые пленки - Получение