TY  - BOOK
AU  - Харченко,Валерий Владимирович
TI  - Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
SN  - 5-648-00390-0
PY  - 1989///
CY  - Ташкент
PB  - Фан
KW  - Кремний - Получение эпитаксиальных структур
N1  - ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1989; այլ; Библиогр.: с. 157-166 (180 назв.)
ER  -