Харченко, Валерий Владимирович <br/><br/>
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем / 
В.В. Харченко ; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения. 
 - Ташкент :  Фан ,  1989. 
 - 168 с.  и ;  . ;  22 см. 
<br/><br/> ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1989  այլ  Библиогр.: с. 157-166 (180 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-648-00390-0 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Кремний - Получение эпитаксиальных структур