Полупроводниковые пленки для микроэлектроники / Отв. ред. Л.Н. Александров, В.И. Петросян. - Новосибирск : Наука , 1977. - 246 с. Ин-т физики полупроводников СО АН СССР Subjects--Topical Terms: МикроэлектроникаПолупроводниковые пленки