Полупроводниковые пленки для микроэлектроники / 
Отв. ред. Л.Н. Александров, В.И. Петросян. 
 - Новосибирск :  Наука ,  1977. 
 - 246 с. 
<br/><br/>Ин-т физики полупроводников СО АН СССР 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника<br/>Полупроводниковые пленки