TY  - BOOK
AU  - Парменов,Ю.А.
ED  - Московский ин-т электронной техники
TI  - Полупроводниковые интегральные микросхемы ; Технология, физика компонентов и схемотехника: Сборник научных трудов 
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Изд-во Московского ин-та электрон. техники
KW  - Микросхемы
KW  - Полупроводниковые приборы
ER  -