TY  - BOOK
AU  - Колешко,Владимир Михайлович
AU  - Гойденко,Петр Петрович
AU  - Буйко,Лев Дмитриевич
TI  - Контроль в технологии микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные, большие - Производство - Технический контроль
ER  -