Колешко, Владимир Михайлович <br/><br/>
Контроль в технологии микроэлектроники  / 
В.М. Колешко, П.П. Гойденко, Л.Д. Буйко. 
 - Минск :  Наука и техника,  1979. 
 - 312 с. :   ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектронные схемы, интегральные, большие - Производство - Технический контроль