TY  - BOOK
AU  - Чистяков,Юрий Дмитриевич
AU  - Райнова,Ю.П.
TI  - Физико-химические основы технологии микроэлектроники: Учебное пособие для вузов 
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 400 - 403
ER  -