TY  - BOOK
AU  - Клисторин,И.Ф.
ED  - Кишиневский политехнический институт им. С. Лазо
TI  - Полупроводниковые структуры и средства управления технологическим и процессами: Вопросы электроники; Межвузовский сборник / 
PY  - 1979///
CY  - Кишинев
PB  - Штиинца
KW  - Полупроводники - Производство - Автоматизация - Сборники
ER  -