Полупроводниковые структуры и средства управления технологическим и процессами :  Вопросы электроники; Межвузовский сборник /  
Кишин. политехн. ин-т им. С. Лазо; Ред. И.Ф. Клисторин (отв. ред.) и др. 
 - Кишинев :  Штиинца,  1979. 
 - 131 с. :   ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводники - Производство - Автоматизация - Сборники