TY  - BOOK
AU  - Мазель,Евгений Зиновьевич
AU  - Пресс,Феликс Павлович
TI  - Планарная технология кремниевых приборов
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Кремниевые приборы
N1  - Библиогр.: с. 368 - 382
ER  -