Мазель, Евгений Зиновьевич. <br/><br/>
Планарная технология кремниевых приборов / 
Е.З. Мазель, Ф.П. Пресс. 
 - Москва :  Энергия,  1974. 
 - 384 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 368 - 382 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Кремниевые приборы