TY  - BOOK
AU  - Толливер,Дональд
AU  - Золотарев,Ю.М.
AU  - Машкова,Е.С.
AU  - Айнспрук,Н.
AU  - Браун,Д.
TI  - Плазменная технология в производстве СБИС
PY  - 1987///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Электроника
N1  - Оригинал на англ.; Norman G. Einspruch, Dale M. Brown-; New York : Academic Press, Inc. : 1984
ER  -