Плазменная технология в производстве СБИС / 
Д. Толливер и др. ; Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; Пер. с англ. Ю.М. Золотарева и др., под ред. Е.С. Машковой. 
 - Москва :  Мир,  1987. 
 - 470 с. :  ил. 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника