TY  - BOOK
AU  - Ржанов,А.В.
ED  - Институт физики полупроводников СО АН СССР
TI  - Основы эллипсометрии
PY  - 1979///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Физика
ER  -