TY  - BOOK
AU  - Таруи Ясуо
AU  - Лазарева,В.П.
AU  - Ржанов,В.Г.
TI  - Основы технологии сверхбольших интегральных схем
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Машиностроение
ER  -