Таруи Ясуо <br/><br/>
Основы технологии сверхбольших интегральных схем / 
Я. Таруи ; Пер. с яп. В.А. Лазарева ; Под ред. В.Г. Ржанова. 
 - Москва :  Радио и связь,  1985. 
 - 479 с. ;  22 см. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Машиностроение