Основы технологии кремниевых интегральных схем : Окисление, диффузия, эпитаксия : / Под ред. Р. Бургера, Р. Донована ; Пер. с англ. под ред. В.Н. Мордковича, Ф.П. Пресса. - Москва : Мир, 1969. - 451 с. Списки лит. в конце глав Subjects--Topical Terms: Детали радиоаппаратуры