TY  - BOOK
AU  - Михацкий,Юрий Владимирович
TI  - Технология и конструирование микросхем : : Текст лекций / 
PY  - 1978///
CY  - Киев
PB  - Б. и.
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия
ER  -