Михацкий, Юрий Владимирович <br/><br/>
Технология и конструирование микросхем :   Текст лекций /  
Ю.В. Михацкий. 
 - Киев :  Б. и.,  1978. 
 - 55 с.  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия