TY - BOOK AU - Бочкин,Олег Иванович AU - Брук,Вадим Аркадьевич AU - Никифорова-Денисова,Светлана Николаевна TI - Механическая обработка полупроводниковых материалов / : [Учебник для подгот. рабочих на производстве] T2 - Профтехобразование. Полупроводники PY - 1977/// CY - Москва PB - Высш. школа KW - Полупроводники - Обработка N1 - С 1973 ER -