TY  - BOOK
AU  - Юрченко,М.И.
AU  - Пауэлл,К.
TI  - Осаждение из газовой фазы: Сокр. пер. с англ. 
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Атомиздат
KW  - Химическая технология
ER  -