Осаждение из газовой фазы :  Сокр. пер. с англ. / 
 Vapor Deposition 
Пер. М.И. Юрченко ; Под ред. К. Пауэлла и др. 
 - Москва :  Атомиздат,  1970. 
 - 472 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Химическая технология