TY  - BOOK
AU  - Чехович,Евгений Казимирович
AU  - Пилипович,Владимир Антонович
ED  - Институт электроники АН БССР
TI  - Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
SN  - 5-343-00087-8
PY  - 1989///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - ЭВМ вообще
N1  - Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.)
ER  -