Чехович, Евгений Казимирович <br/><br/>
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / 
Е.К. Чехович ; Отв. ред. В.А. Пилипович ; АН БССР. Ин-т электроники. 
 - Минск :  Наука и техника,  1989. 
 - 212,[1] с. ;  20 см. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-343-00087-8 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>ЭВМ вообще