TY  - BOOK
AU  - Борисов,Юрий Владимирович
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
TI  - Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ: Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 
PY  - 1988///
CY  - Москва
KW  - Технология производства устройств радиотехники и связи
KW  - Thesis
N1  - Науч. рук.` В.Н Черняев; Список лит. с. 17-19
ER  -