Борисов, Юрий Владимирович <br/><br/>
Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ :  Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.13 / 
МВССО РСФСР. MATИ им. К.Э. Циолковского. 
 - Москва ,  1988. 
 - 19 с. 
<br/><br/>Науч. рук.` В.Н Черняев 
<br/><br/>Список лит. с. 17-19 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология производства устройств радиотехники и связи
<br/><br/><label>Index Terms--Genre/Form: </label><br/>Thesis