TY  - BOOK
AU  - Афанасьев,Станислав Михайлович
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Разработка рентгеновских методов скользящей брэгг-лауэ дифрактометрии для диагностики материалов микроэлектроники: Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 
PY  - 1990///
CY  - Москва
KW  - Технология полупроводников и материалов
KW  - Thesis
N1  - Науч. рук
ER  -