Афанасьев, Станислав Михайлович <br/><br/>
Разработка рентгеновских методов скользящей брэгг-лауэ дифрактометрии для диагностики материалов микроэлектроники :  Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / 
МИЭТ. 
 - Москва,  1990. 
 - 18 с. 
<br/><br/>Науч. рук. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология полупроводников и материалов
<br/><br/><label>Index Terms--Genre/Form: </label><br/>Thesis