Смолин, Валентин Константинович <br/><br/>
Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности :  Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.05 / 
ЛПИ. 
 - Львов,  1991. 
 - 17 с. 
<br/><br/>Науч. рук. В.А. Коваль 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Интегральные радиоэлектронные устройства
<br/><br/><label>Index Terms--Genre/Form: </label><br/>Thesis