TY  - BOOK
AU  - Попов,Виктор Васильевич
ED  - Технологический институт
TI  - Система автоматизированного измерения толщины тонких пленок: Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 
PY  - 1989///
CY  - Ленинград
KW  - Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
KW  - Thesis
N1  - Науч. рук. В.П. Катушкин
ER  -