Попов, Виктор Васильевич
Система автоматизированного измерения толщины тонких пленок : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 /
ТИ.
- Ленинград, 1989.
- 17 с.
Науч. рук. В.П. Катушкин
Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
Thesis