TY  - BOOK
AU  - Кремлов,Вячеслав Яковлевич
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Функционально-интегрированные структуры базовых элементов полупроводниковых интергральных схем: Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 
PY  - 1990///
CY  - Москва
KW  - Твердотельная электроника, микроэлектроника
KW  - Thesis
ER  -