TY  - BOOK
AU  - Файнштейн,Семен Меерович
TI  - Обработка поверхности полупроводниковых приборов
PY  - 1966///
CY  - Ленинград, Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые приборы
ER  -