Файнштейн, Семен Меерович <br/><br/>
Обработка поверхности полупроводниковых приборов / 
С.М. Файнштейн. 
 - Ленинград ;  Москва :  Энергия,  1966. 
 - 256 с.  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы