TY  - BOOK
AU  - Карбань,Валерий Иванович
AU  - Борзаков,Юрий Иванович
AU  - Булгаков,С.С.
TI  - Обработка монокристаллов в микроэлектронике
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Монокристаллы - Обработка
ER  -