Файнштейн, Семен Меерович <br/><br/>
Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / 
С.М. Файнштейн. 
 - 3-е изд., перераб. 
 - Москва :  Энергия,  1970. 
 - 296 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы