TY  - BOOK
AU  - Симонов,Владимир Валентинович
AU  - Корнилов,Лев Александрович
AU  - Шашелев,Алексей Васильевич
AU  - Шокин,Евгений Викторович
TI  - Оборудование ионной имплантации
SN  - 5-256-00007-1
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Ионное легирование - Установки
N1  - Библиогр.: с. 170-181 (69 назв.)
ER  -