TY  - BOOK
AU  - Ильин,Г.Д.
ED  - Институт точной механики и вычислительной техники АН СССР
TI  - Напыление диэлектрических и проводящих покрытий в низкотемпературной плазме
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - ИТМ и ВТ АН СССР
KW  - Технология механообработки в целом
KW  - электровакуумные приборы
N1  - Библиогр.: с. 63 - 65 (24 назв.)
ER  -