TY  - BOOK
AU  - Игнатьев,Всеволод Валентинович
ED  - Ленинградский электротехнический институт им. В.И. Ленина
TI  - Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1977///
CY  - Ленинград
PB  - ЛЭИ
KW  - Гибридные интегральные микросхемы
N1  - Библиогр.: с. 88
ER  -