TY  - BOOK
AU  - Гаштольд,Владимир Николаевич
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Развитие метода катодного распыления
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Ин-т "Электроника"
KW  - Технология механообработки в целом
KW  - двухэлектронное распыление
N1  - Библиогр.: с. 37 - 43 (150 назв.)
ER  -