TY  - BOOK
AU  - Полянский,А.М.
ED  - Новосибирский государственный университет
ED  - Новосибирский электротехнический институт
TI  - Технология изготовления микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1976///
CY  - Новосибирск
PB  - [Б. и.]
KW  - Технология изготовления микросхем
ER  -