Полянский, А.М. <br/><br/>
Технология изготовления микросхем :  Учебное пособие / 
А.М. Полянский ; Новосиб. гос. ун-т. Новосиб. электротехн. ин-т. 
 - Новосибирск :  [Б. и.] ,  1976. 
 - 83 с. :  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология изготовления микросхем