Вакуумные металлизационные установки : Обзорная информация / В. В. Леонов, Э.Г. Фахрутдинов, Ю.Ф. Коротков и др.; ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ. - Москва : ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1983. - 34 с. : рис., табл. - Криогенное и вакуумное машиностроение Серия ХМ-6 . Библиогр.: с. 33 - 34 (22 назв.) Subjects--Topical Terms: Технология механообработки в целом Subjects--Index Terms: защитные пленки