TY  - BOOK
AU  - Вендик,Орест Генрихович
AU  - Попов,Владимир Федорович
AU  - Зеленская,Наталья Викторовна
ED  - Ленинградская организация общества "Знание" РСФСР
ED  - Ленинградский дом научно-технической пропаганды
TI  - Технология вакуумно-дугового осаждения тонких пленок
PY  - 1982///
CY  - Ленинград
PB  - ЛДНТП
KW  - Технология механообработки в целом
KW  - тонкие пленки
N1  - Библиогр.: с. 17 (10 назв.)
ER  -