Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло / Л.Н. Александров, Р.В. Бочкова и др. ; Отв. ред. С.И. Стенин ; АН СССР. Сибирское отд-е. Ин-т физики полупроводников.

Նյութի տեսակ։ Տեքստ