Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1962-1977 гг) / В.А. Лабунов, В.П. Пархутик; М-во электронной промышленности СССР.
Նյութի տեսակ։ ՏեքստԼեզու: Ռուսերեն Մատենաշար։ Обзоры по электронной технике | Микроэлектроника. Вып. I(557) Հրատարակման մանրամասներ։ Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978.Նկարագրություն։ 70 сԽորագրեր։Նյութի տեսակ | Ընթացիկ գրադարան | Հավաքածու | Դարակային համար | Վիճակ | Նշումներ | Վերադարձի ամսաթիվ | Շտրիխ կոդ | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Book | Scientific Technical Library | Գրքային հավաքածու | 542 Л 127 (Դիտման դարակ(Բացվում է ներքևում)) | Հասանելի | One Hour Loan | NC0056394 |
Библиогр.: с. 62 - 70
Այս վերնագրի համար չկան մեկնաբանություններ։
Մուտք գործիր քո հաշիվ ուղարկել մեկնաբանություն։