Նորմալ դիտում
MARC դիտում
- Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР Московский Авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского (Corporate Name)
Machine generated authority record.
Work cat.: (AM-YeNLA)1081227: Борисов, Юрий Владимирович 196638, Разработка и исследование технологических процессов плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических материалов для изготовления МЭУ :, 1988.